Les mesures étant effectuées sans contact physique, l’intégrité de l’échantillon n’est pas compromise sans compter qu’il est également possible L’importance de la métrologie dans la qualité industrielle quantifier la performance d’une couche intercalée entre des couches non-conductrices.
Ces caractéristiques sont en contraste direct avec la technique de sonde à quatre pointes qui elle, nécessite un contact physique avec la couche conductrice et qui risque ainsi d’endommager l’échantillon.
Un module de réponse fréquentielle y est également inclus et permet des mesures de spectroscopie par impédance électrochimique .
Le tribomètre est un appareil utilisé pour déterminer certaines propriétés tribologiques de couches minces, soit la résistance à l’usure et le coefficient de friction.
De plus, en combinant avec des mesures de transmission in situ, il est possible d’obtenir l’efficacité de coloration du matériau, soit sa variation en transmission en fonction de la charge insérée.
Finalement, par l’installation d’une cellule électrochimique sur notreellipsomètre RC2, il est également possible d’obtenir les propriétés optiques intrinsèques de matériaux EC dans leurs états intercalés et ce, en fonction du temps.
Ceci se révèle fort utile dans le cadre d’étude de durabilité (voir article de H. Camirand et al.).
Le Smart SAGA est idéal pour l’analyse à angle rasant de couches sub-microniques sur des substrats métalliques.
La réflectance à angle rasant est la technique de choix pour l’analyse l’importance de la métrologie dans la Qualité industrielle couches minces oto l’angle d’incidence élevé augmente le chemin optique du faisceau infrarouge à travers le matériau d’intérêt, ce qui augmente la sensibilité de la mesure L’importance de la métrologie dans la qualité industrielle façon significative.
Un polariseur monté sur l’accessoire minimise la polarisation ‘S’ qui fournit peu d’information sur la surface, ce qui augmente la sensibilité et la vitesse de mesure.
La modélisation du comportement de la gaine en fonction de la chute de potentiel, proposé par Irving Langmuir permet alors d’extraire les paramètres du plasma.
Les données obtenues par spectroscopie d’émission optique contiennent un grand nombre d’information.
Chaque transition optique est précisément caractérisée par des transitions électroniques radiatives autorisées auxquels s’ajoutent les vibrations pour les particules polyatomiques.
Le positionnement de chaque raie donne donc des informations importantes sur la composition chimique du plasma alors que les intensités relatives donnent de l’information sur la répartition de l’énergie entre les espèces du plasma.
La spectroscopie d’émission optique est une méthode de caractérisation des plasmas non intrusive et non perturbatrice.
Ces mesures jumelées à des observations optiques de la surface rayée forme une empreinte unique au système couche/substrat étudié.
Trescal présentera les dernières évolutions de son logiciel de gestion de parc métrologique, Adveso®.
Cette solution innovante, clé en main est conçue pour piloter et optimiser l’activité métrologique des industriels.
Les innovations du logiciel permettent désormais aux utilisateurs d’interfacer leurs systèmes d’informations (ERP/PGI, instrument de mesure connecté, etc.) avec Adveso®.
Cette évolution facilitera la collecte d’informations liées aux instruments rendant possible la gestion plus fine de leurs périodicités.
L’imagerie plasma par camera haute vitesse est une technique d’analyse de plasma complémentaire à la spectroscopie d’émission optique.
À l’aide d’une caméra CCD amplifiée à haute vitesse d’obturation, cette technique permet d’observer la dynamique d’émission de la lumière par des espèces excitées dans un plasma résolues dans le temps et dans l’espace.
Les développements récents, lors la dernière décennie, de revêtements intensifieurs et de camera CCD haute performance a permis de grandement d’améliorer les résolutions spatiale et temporelle.
Une représentation schématique d’un système de mesure de résistance de surface sans tương tác est présentée à la Figure 1.
En employant une cellule électrochimique à trois électrodes, il est possible de mesurer les propriétés de résistance à la corrosion des matériaux en appliquant les techniques de polarisation potentiostatique et potentiodynamique.